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邦达电气镀膜系列桌面型磁控溅射镀膜仪
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发布日期
2022年9月2日
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郑州邦达电气有限公司
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机械泵+分子泵( 国产或进口可选) ,极限真空优于 8*10-5 Pa(设备空载抽真空24h ) ,大气~8*10-4 Pa≦30min;采用电阻电离一体 化真空规管读取真空度;阀门采用电磁驱动挡板阀和手动限流阀;充气系统标配10sccm/50sccm 质量流量计各 1 套
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